يمكن تطبيق تكنولوجيا الآلات الدقيقة على مواد مختلفة. وتشمل هذه المواد البوليمرات والمعادن والسبائك والمواد الصلبة الأخرى. يمكن لتكنولوجيا الآلات الدقيقة أن تعالج بدقة حتى جزء من الألف من المليمتر ، مما يساعد على جعل إنتاج الأجزاء الصغيرة أكثر كفاءة وواقعية. تُعرف أيضًا باسم التصنيع الميكانيكي الصغير الحجم (عملية M4) ، تصنع الآلات الدقيقة المنتجات واحدة تلو الأخرى للمساعدة في إنشاء اتساق الأبعاد بين الأجزاء.
تعد الآلات الدقيقة عملية تصنيع جديدة نسبيًا ، وتتبع العديد من الصناعات اتجاه استخدام الأجزاء الدقيقة في تطبيقات مختلفة ، بما في ذلك الأجزاء الطبية والمكونات الإلكترونية ومرشحات الجسيمات والأجزاء في مجالات أخرى. تسمح الآلات الدقيقة للمهندسين بصنع أجزاء صغيرة ومعقدة. يمكن بعد ذلك استخدام هذه المكونات في التجارب لإعادة بناء عمليات واسعة النطاق على نطاق صغير. على أعضاء الرقائق والموائع الدقيقة مثالان على تطبيقات الآلات الدقيقة.
تُعرف تقنية الآلات الدقيقة أيضًا بمعالجة الأجزاء الصغيرة. المعالجة الدقيقة هي عملية تصنيع ، تستخدم أدوات ميكانيكية دقيقة ذات حواف قطع محددة هندسيًا لتصنيع أجزاء صغيرة جدًا ، وذلك لتقليل المواد وتصنيع المنتجات أو الميزات مع بعض الأحجام على الأقل في نطاق الميكرونات. قد يكون قطر الأداة المستخدمة في التصنيع الدقيق صغيرًا مثل {{0}. 001 بوصة.