يعد تطوير أدوات الماكينة فائقة الدقة شرطًا أساسيًا مهمًا لتطوير الآلات فائقة الدقة. في السنوات الأخيرة ، نجحت البلدان المتقدمة في تطوير مجموعة متنوعة من أدوات الآلات المتطورة فائقة الدقة. يتمثل اتجاه تطوير أدوات الماكينة فائقة الدقة في زيادة تحسين دقة أدوات الماكينة فائقة الدقة ، وتطوير أدوات آلية فائقة الدقة على نطاق واسع ، وتطوير أدوات آلية فائقة الدقة ومتعددة الوظائف وعالية الكفاءة.
بدأت الولايات المتحدة وبريطانيا وألمانيا ودول أخرى في إنتاج أدوات آلية فائقة الدقة في السبعينيات (اليابان في الثمانينيات) ، ويمكنها توفيرها على دفعات. فيما يتعلق بأدوات الآلات فائقة الدقة على نطاق واسع ، نجح المختبر الوطني LLL في الولايات المتحدة في تطوير مخارط ماس كبيرة الحجم فائقة الدقة في عام 1986: أحدهما عبارة عن مخرطة ماسية أفقية DTM -3 بقطر آلي 2.1 م ، والآخر بقطر تشغيل يبلغ 1.65 م. مخرطة الماس الضوئية الكبيرة العمودية LODTM. من بينها ، يتم التعرف على مخرطة الماس البصرية الكبيرة العمودية LODTM كأداة آلة فائقة الدقة بأعلى دقة في العالم. طورت الولايات المتحدة فيما بعد آلة طحن دقيقة باستخدام الحاسب الآلي 6- على نطاق واسع من أجل طحن دقيق للمرايا الضوئية الكبيرة.
نجح مركز Cranfield Precision Machining البريطاني في تطوير آلة الطحن CNC متعددة الوظائف ذات الإحداثيات الثلاثية OAGM -2500 في عام 1991 (مساحة الجدول 2500 مم × 2500 مم) ، والتي يمكنها معالجة (طحن ، وتدوير) وقياس الأسطح الخالية من الشكل الدقيق. تتبنى أداة الآلة طريقة ربط قطع العمل ، ويمكنها أيضًا معالجة المرايا الكبيرة التي يبلغ قطرها 7.5 متر في التلسكوبات الفلكية.
تطورت أدوات الآلات اليابانية فائقة الدقة والمتعددة الوظائف وعالية الكفاءة للأغراض الخاصة بسرعة ، والتي لعبت دورًا جيدًا في تعزيز تطوير الإلكترونيات الدقيقة وصناعات الأجهزة المنزلية في اليابان.