في عام 1972 ، نجحت شركة Union Carbide في الولايات المتحدة في تطوير آلة معالجة إنشاء الأسطح شبه الكروية بوضع R-mode. هذه مخرطة CNC ذات تنسيق مزدوج مع ملاحظات الموقف ، والتي يمكن أن تغير زاوية الدوران θ ونصف القطر R لقضيب توجيه مقعد الأداة في الوقت الفعلي لتحقيق معالجة مرآة للأسطح شبه الكروية. قطر المعالجة يصل إلى 38 0 مم ، ودقة شكل قطعة العمل المعالجة هي ± O. 63μm ، خشونة السطح هي Ra0.025μm.
طورت شركة Moore لأول مرة أداة آلة المعالجة شبه الكروية M {{0} AG التي يتم التحكم فيها بواسطة 3 إحداثيات في عام 1980. ويمكن لهذه الأداة الآلية معالجة العديد من المرايا المعدنية شبه الكروية بقطر 356 مم.
قدمت الشركة البريطانية Rank Pneumo إلى السوق في عام 1980 باستخدام التحكم في التغذية المرتدة بالليزر.
أداة آلة الربط ذات المحورين (MSG -325) ، يمكن لأداة الآلة معالجة المرايا المعدنية شبه الكروية بقطر 35 0 مم ، ودقة شكل قطعة العمل هي 0. { {4}}. 5μm ، وخشونة السطح Ra تساوي 0. 01- O. 0 25 ميكرومتر. بعد ذلك ، تم إطلاق ASG2500 و ASG2500T و Nanoform300 وأدوات آلية أخرى. على أساس أدوات الماكينة المذكورة أعلاه ، طورت الشركة Nanoform600 في عام 1990. يمكن لأداة الماكينة هذه معالجة المرايا شبه الكروية بقطر 600 مم ، ودقة شكل قطعة العمل المعالجة أفضل من 0 .1 ميكرومتر ، خشونة السطح هي أفضل من 0.01 ميكرومتر.
مخرطة الماس فائقة الدقة التي تمثل المستوى العالي لأعضاء اليوم هي الأمريكية لورانس. LODTM ، الذي تم تطويره بنجاح بواسطة مختبر ليفرمور (LLNL) في عام 1984 ، يمكنه معالجة قطع العمل بقطر 21 0 0 مم ووزنه 4500 كجم ، ويمكن أن تصل دقة التشغيل الآلي إلى 0.25 ميكرومتر ، وخشونة السطح هي RaO . 0076μm ، يمكن للآلة معالجة الأسطح المستوية والكروية وغير الكروية ، وتستخدم بشكل أساسي لمعالجة الأجزاء المطلوبة لهندسة الانصهار بالليزر وأجزاء أجهزة الأشعة تحت الحمراء والمرايا السماوية واسعة النطاق.
الماس فائق الدقة واسع النطاق طوره معهد الهندسة الدقيقة (CUPE) في جامعة كرانفيلد بالمملكة المتحدة
يمكن لآلة قطع المرآة اليمنى معالجة المرايا شبه الكروية (المرايا المخروطية التي يبلغ قطرها الأقصى 1400 مم وطولها الأقصى 600 مم) للتلسكوبات الفلكية الكبيرة للأشعة السينية. نجح المعهد أيضًا في تطوير آلة قطع الماس التي يمكنها معالجة المكافئ الجيروسكوبي الداخلي والمرآة الجيروسكوبية الخارجية لتلسكوب الأشعة السينية.
تُستخدم أدوات الآلات فائقة الدقة المطورة في اليابان بشكل أساسي لمعالجة العدسات والمرايا المطلوبة للمنتجات المدنية. في الوقت الحالي ، تشمل أدوات آلة التصنيع المصنوعة في اليابان: ULG-l 00 A (H) Fujikoshi التي طورتها Toshiba Machinery ASP-L15 ، Toyota Koki AHN10 ، AHN30 × 25 ، AHN60—3D أدوات آلة معالجة الأسطح شبه الكروية ، إلخ. .